光电工程

光电工程 ›› 2026, Vol. 53 ›› Issue (3) : 250324 - 1. DOI: 10.12086/oee.2026.250324

综述

光场调控技术在晶圆检测领域的工程应用研究

张龙 ,
黄有为 ^*^,^* ,
陈鲁 ^*^,^* ,
张稷 ,
田晓俊

作者信息 +

深圳中科飞测科技股份有限公司，广东深圳 518110

黄有为，huangyouwei@skyverse.cn

陈鲁，chenlu@skyverse.cn

张龙 (1988-)，男，硕士，精密仪器专业，深圳中科飞测科技股份有限公司研发总监，长期致力于无图形晶圆表面缺陷检测设备的研究与产业化。E-mail：zhanglong@skyverse.cn zhanglong@skyverse.cn

黄有为 (1983-)，男，博士，深圳中科飞测科技股份有限公司研发总监、首席科学家，广东省劳动模范，多年精密光学检测技术及设备研发经历，带领项目团队完成多项精密光学检测技术攻关和多款高端光学检测设备的研发与量产。E-mail：huangyouwei@skyverse.cn huangyouwei@skyverse.cn

陈鲁 (1977-)，男，博士，研究员，深圳中科飞测科技股份有限公司董事长兼总经理，国家级人才工程项目入选者、深圳市孔雀A类人才，集成电路质量控制设备资深专家，负责多项国家、省/市级重大研发专项、重点研发计划等。E-mail：chenlu@skyverse.cn chenlu@skyverse.cn

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2025-10-30	2025-12-24
Issue Date
2026-10-22

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